1、前言

        在半導體行業行業電子元器件封裝和集成型線路生產工藝中，用料、晶圓、電源芯片的軟件公測方法是必不行少的環節。因為半導體行業行業電子元器件封裝軟件公測方法技術水平的不斷發展，號碼源表SMU依照電極臺的裝置團體就被大面積應用廣泛于用料/細小電子元器件封裝的電學功效核實中。號碼源表SMU具有源測功效，行產生了電流量-電壓值(I-V)功效直線，是半導體行業行業電子元器件封裝用料、電子元器件封裝電使用性能表現測定的核心內容；電極臺有手動操作時、半主動和全主動這幾種，結合軟件公測方法須得選擇配套方案的食品時。在選購時須得考慮電極的質材并且 針尖的直徑為與外形，電極質材有差異，其阻抗匹配不同；不僅如此，電極尖磨損情況和空氣污染也會對軟件公測方法沒想到構成后果。

        在測試時，通過數字源表提供激勵并對測量信號進行采集。首先將電流或電壓輸入被測器件（DUT），測量該器件對此輸入信號的響應；這些信號的路徑為：源表的輸出端接入電纜，電纜和探針連接，電流或電壓信號通過探針至芯片。

圖：SMU、探頭、DUT接入舉手

        下文中，我們將探討數字源表SMU和探針臺的連接注意事項，以及不同材料/器件的測試應用案例。

2、數字源表SMU與探針臺的連接

        檢驗探(tan)針臺與源表的(de)(de)無(wu)線(xian)聯接(jie)(jie)(jie)比(bi)較常見有(you)五(wu)種，一種生活(huo)動(dong)(dong)用同水平線(xian)無(wu)線(xian)聯接(jie)(jie)(jie)，別(bie)的(de)(de)種生活(huo)動(dong)(dong)用三同水平線(xian)無(wu)線(xian)聯接(jie)(jie)(jie)。當檢測小直流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)大小(nA、pA)時，應動(dong)(dong)用三同軸(zhou)連(lian)接(jie)(jie)(jie)信息(xi)模(mo)塊和三同水平線(xian)纜。在連(lian)通源表庇護相對定位檢驗用電(dian)(dian)(dian)線(xian)路中，基于三同軸(zhou)的(de)(de)庇護層與內芯中是等電(dian)(dian)(dian)勢差，不很有(you)可(ke)能漏直流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)大小產生，要(yao)能增長小直流(liu)電(dian)(dian)(dian)壓(ya)大小檢驗準(zhun)確度。

圖：三同軸線纜半剖圖

（1導體；2隔絕；3內關閉掉層；4里邊層；5外關閉掉層；6外護線套）

圖：三同水平線纜等效電線圖

  上圖如圖所示為三同水平電纜線等效集成運放圖，輸出的高檔HI和Guard之前的電勢差可以說為0，而消掉電纜線企業的漏電流。

以下是使用普賽斯直流源表、脈沖源表、高壓源表、大電流源表與探針臺的接線說明：

S全系列直流電源源表

- 兩同軸連接 -

使用香蕉頭轉BNC母頭的轉接頭進行連接；

- 三同軸連接 -

        三同軸銜接器與正規兩芯銜接器進而各有不同，可還接駁手機網絡數字信號燈、的接地和屏避層，屏避的使用好使。和多芯線覽不同之處之下，三同基準面覽節構非常簡單，正規高朝；和兩芯同基準面覽不同之處之下，極具越來越高的屏避功效和小手機網絡數字信號燈的互傳效果。三同基準面覽的銜接措施的使用了GUARD手機網絡數字信號燈，體現了了屏避的功效，更有善于于小手機網絡數字信號燈的檢測的。

P系列脈沖源表

- 兩同軸連接 -

采用杜邦線轉BNC母頭參與接；

- 三同軸連接 -

在使用三同軸無線連接信息模塊做好無線連接。

E系列高壓源表

- E100(1200V) -

立即操作三同中心線參與對接；

- E200(2200V)/E300(3500V) -

將尋常的三同軸更換為油田專用型三同定位軸線；壓力變壓器三同軸插頭的擊穿電壓試驗本事極強，普賽斯利用的壓力變壓器三同軸插頭可以擊穿電壓試驗3500V。

圖(tu)：左-壓力三同(tong)軸、右-常見三同(tong)軸

HCPL 100大電流源表

大瞬時直流電量估測時，單根測試圖片電極允許值的瞬時直流電量受限，瞬時直流電量過大概率會引發的燒針現狀，影晌測試圖片沒想到，那么應該利用多測試圖片電極串并聯。

圖：多測試探針電容串聯提醒

3、探針臺與器件的連接

 在不同的材料測試中可能會遇到共面電極或異面電極的材料。共面電極指陽極和陰極在同一平面；異面電極指陽極和陰極不在同一平面，常見為正反面。

圖：共面工業銜接展示

圖：異(yi)面金屬電極接觸展(zhan)示

4、測試注意事項

-探針臺接地：探針臺(tai)結構上有很多金(jin)屬，在帶(dai)(dai)(dai)電(dian)的(de)環(huan)境下(xia)會存在很強的(de)靜電(dian)，一(yi)(yi)般探針臺(tai)會自(zi)帶(dai)(dai)(dai)大地(di)(di)(di)連接(jie)(jie)(jie)線(xian)，使(shi)用中將探針臺(tai)接(jie)(jie)(jie)大地(di)(di)(di)，避免釋(shi)放靜電(dian)給測(ce)試帶(dai)(dai)(dai)來(lai)影響。一(yi)(yi)般地(di)(di)(di)線(xian)分為兩(liang)類(lei)：一(yi)(yi)種是(shi)工作接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)，另(ling)一(yi)(yi)種是(shi)安(an)全(quan)(quan)性(xing)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)。工作接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)是(shi)把金(jin)屬導(dao)體銅(tong)塊埋在土壤里(li)， 再通過(guo)導(dao)線(xian)引出地(di)(di)(di)面，將導(dao)線(xian)接(jie)(jie)(jie)入設備的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)端口，形成接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)回路。 安(an)全(quan)(quan)性(xing)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)是(shi)指使(shi)用探針臺(tai)金(jin)屬外(wai)殼自(zi)帶(dai)(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)線(xian)進行接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)，當(dang)探針臺(tai)金(jin)屬外(wai)殼發生(sheng)絕(jue)緣損壞，外(wai)殼帶(dai)(dai)(dai)電(dian)時，電(dian)流沿著其外(wai)殼自(zi)帶(dai)(dai)(dai)的(de)接(jie)(jie)(jie)地(di)(di)(di)線(xian)接(jie)(jie)(jie)入大地(di)(di)(di)，以達到安(an)全(quan)(quan)的(de)目的(de)。

-連接線接地：探針臺的(de)(de)連接線為同軸線，兩根同軸線的(de)(de)內芯是(shi)信號線，從而導致(zhi)兩根同軸線的(de)(de)外屏(ping)蔽層(ceng)(ceng)懸空，未起到屏(ping)蔽的(de)(de)作(zuo)用(yong)，在磁場環境復雜(za)的(de)(de)情況下會對(dui)測(ce)試(shi)產生較大(da)的(de)(de)干擾。因(yin)此，為了(le)獲得較好(hao)的(de)(de)測(ce)試(shi)效果，需(xu)要將(jiang)同軸線纜的(de)(de)外屏(ping)蔽層(ceng)(ceng)接入(ru)工作(zuo)地線。

-關閉光源：很多器件(jian)和(he)材料對光源敏感，測(ce)試中(zhong)如果不關閉光源會影響測(ce)試結果，所以測(ce)試時盡量在無光源影響的環境(jing)中(zhong)進行。

-小電流測試時加屏蔽罩：如果測試電流為pA級別，需要給探針(zhen)臺增加屏(ping)蔽罩。

-異面電極材料連接：異面電極(ji)(ji)材(cai)料(liao)(liao)連接時通常會使(shi)用探針臺Chuck盤(pan)做電極(ji)(ji)，但(dan)是(shi)Chuck盤(pan)的平整度(du)會對材(cai)料(liao)(liao)的接觸面有影響(xiang)，那么此(ci)時就需要(yao)使(shi)用引電極(ji)(ji)。